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第503章 时间就是金钱!特种气体之难 (第2/8页)
务,从公司剥离了出去。 让公司专门负责,研究生产用于满足集成电路、液晶面板、医疗仪器、芯片制造的特种气体。 这个任务,真是光荣又艰巨啊! 光荣在于研制特种气体,有力支撑龙国的高端制造业发展,是利国利民的一件大好事。 艰巨在于特种气体,是真不好研制。 就拿生产芯片来说。 从最开始制造硅片,将高纯度硅拉单晶、磨外圆、切片、倒角、磨削等等制造成晶圆,就需要大量使用高纯度的氯化氢、氢气和氩气了。 而开始进行光刻加工的时候,需要氟气、氪气、氖气等好几种特种气体。 刻蚀清洗,除了常用的几种特种气体,还需要溴化氢、氯化氢、二氟甲烷、三氯化硼、六氟化硫等等二十几种。 离子注入的时候,又需要氟化砷、四氟化硅、氙气等。 掺杂之时要乙硼烷、砷化氢,以及不少含硼磷砷的三族及五族原子之气。 除此之外,还有很多工艺环节,都还需要相应的特种气体。 林林总总加一起。 要想生产高性能的合格芯片,竟然需要一百多种特种气体。 需要的特种气体种类多,都还不算什么难事。 真正让人头疼的,是这些特种气体的纯度要求太高了。 用于普通工业生产的大宗气体,纯度只要达到了99.99%,就已经很不错了。 而用于电子科技产品的呢? 哪怕只是生产6寸以下、不低于0.25微米线宽的晶体管和晶闸管,纯度都要百分之九十九点九九九。 而要生产大规模集成电路、特殊电子元器件、纳米级线宽大尺寸芯片,需要的纯度,必须高于百分之九十九点九
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